近日，在電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺上，負責多臺國產與進口電鏡設備運營管理的涂小明博士，對國儀量子的SEM5000X場發射掃描電鏡和DB550雙束電鏡給出了高度好評。

作為全國首批獲批建設的八所集成電路產教融合創新平臺之一，電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺是國家發改委和教育部于2021年聯合批準建設的國家級平臺。平臺總投資超2.5億元，下設IC設計、前道工藝、封裝測試三大子平臺，建成了一條完整的6到8英寸兼容的集成電路工藝線，具備0.18微米及以上晶圓級加工與測試能力。目前，平臺擁有各類微納制造、芯片封裝與量測設備150多臺套，從規模、功能和產業鏈完整度來看，堪稱西南地區高校中最大、最全、最專業的集成電路公共平臺。

作為面向全社會開放共享的國家級平臺，穩定高效的芯片微觀表征與分析工具至關重要。而國儀量子的兩臺國產電鏡——SEM5000X和DB550，正承擔著其中不可或缺的關鍵角色。

“作為西南地區功能最全的集成電路專業化平臺，對微觀形貌的表征和量測需求非常大。"涂小明博士介紹道，這兩臺設備主要工作在芯片微納加工過程中的形貌觀察、尺寸測量，以及截面分析等關鍵環節。

SEM5000X是國儀量子自主研制的超高分辨場發射掃描電子顯微鏡，在高強度使用下，SEM5000X展現出了極高的穩定性，能夠高效完成復雜的形貌觀察與納米級尺寸測量任務。而DB550雙束電鏡則聚焦于精密截面分析，其自主可控的場發射電子鏡筒和“承影"離子鏡筒，保證了高質量的納米加工能力和分析效率，對平臺的高效運行起到了至關重要的作用。

涂小明對此深有感觸：“在高頻使用下，SEM5000X在尺寸測量和微觀形貌觀察上表現出極高的穩定性；DB550雙束電鏡在處理精密截面分析時的效率，對于平臺的高效運轉至關重要。"

半導體集成電路領域，優秀人才是發展的核心驅動力。平臺肩負著為國家培養大批緊缺人才的核心使命。

然而，不管是掃描電鏡還是FIB，都屬于極為精密且昂貴的儀器。此前操作進口設備時，復雜的操作邏輯和全英文的界面，往往給剛開始接觸的學生帶來較大的心理負擔和“不敢上手"的畏難情緒。

但這樣的情況在引入國儀量子SEM5000X和DB550后，得到了根本性改善。國產電鏡“去繁就簡"，簡潔直觀的全中文界面以及完全符合中國科研人員使用習慣的操作邏輯，大大降低了學生的學習門檻。

“國儀量子電鏡‘去繁就簡’，簡潔的全中文界面和符合中國科研人員的交互邏輯，大大降低了學生的學習門檻，有效地避免了誤操作。學生敢上手了，學得快了，設備安全也更有保障了，這對于高校開展教學和科研工作來說，幫助很大。學生不再畏懼操作這些昂貴的‘重器’，敢于去探索。"涂小明博士興奮地總結道。

畢竟，敢于上手，才是高質量實驗教學和科研創新的第一步。從“能用"到“好用、會用、善用"，國產電鏡正在改變高校的人才培養方式。

對于承擔著高強度實驗任務的大型尖端公共實驗平臺來說，卓越的售后服務和技術支持，是保障平臺平穩高效運行的關鍵所在。

國儀量子的售后服務團隊，在這一點上給涂小明博士留下了遠超預期的深刻印象。

“管理設備中，遇到突發技術問題是很正常的情況。有幾次在操作中遇到了一點小狀況，我立刻聯系了國儀量子售后工程師曹工。好幾次剛把問題發出去，曹工立刻就進行了回復，直接給出了解決的辦法，確實做到了全天候在線服務！"涂小明老師稱贊道。

他也指出，這種隨時隨地有強大技術后盾支撐的安心感，是很多進口高端儀器廠商很難企及的。“售后服務好、響應極其及時，保障了我們平臺科研進度的順利推進，讓儀器使用者非常安心。"

國儀量子秉持“鏡心鏡意，成就客戶"的服務理念，致力于把優質服務送至科研一線。在許多高校案例中均可見其服務團隊深入實驗室，開展從設備交付到深度培訓、從日常運維到技術支持的保障工作，贏得了用戶的廣泛認同。

“愿國產電鏡成為科研人員探索微觀世界的銳利之眼，助力自主創新，推動中國科研前行。"采訪的最后，涂小明博士動情地送上了對國產電鏡的祝福。

電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺以卓越的研發積淀、一流的實驗環境和對國產高端科學儀器的積極扶持，生動詮釋了服務國家芯片戰略與集成電路產業深度融合的使命擔當。

而在這一進程中，國儀量子SEM5000X與DB550雙束電鏡的出色表現，不僅證明了國產量子精密測量與高端科學儀器的硬核實力，更通過以服務育人為本的卓越體驗，為推動高校集成電路的可持續創新，打造了校企合作、產教融合的生動范本。

未來，國儀量子將繼續深耕用戶需求，以更專業的技術、更貼心的服務，陪伴每一位科研工作者探索微觀、突破邊界，為中國的芯片科研和人才培養注入來自國產自主創新的澎湃動能。

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